一般的にナノポジショナーの解像度を定義するために使用され、センサノイズ、ドライバ電子ノイズおよび指令値等の組み合わせで決まります。測定したRMS（1σ）の値で指定します。　

実際の位置と第1次最良適合線（直線）との間の誤差。 nPoint社のナノ位置決め製品は、レーザー干渉計を用いて較正され、非直線性誤差は、第四次多項式で補償されています。

＊ガイド精度と間違いやすいので注意が必要です。

温度変化や他の環境の影響を含む時間上の位置の変化、。 　
ドリフトは、メカニカル的、電気的の両面の影響を受けます。
電気的には、電源を入れたら30分から1時間ほどコントローラ内部の温度が安定するまで位置がドリフトする可能性があります。
メカニカル的には、温度が変化することで位置がドリフトする可能性があります。

ナノポジショナーの実際の位置は、それが移動すると予想された理論上の位置にどれだけ近いかを表します。 これは、メカニカル直進性誤差、電気的直線性誤差、ヒステリシス、アッベ誤差、スケールファクタ誤差と位置決めノイズ等の誤差の合成値です。